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第九四一章 京城半导体设备公司(中)

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城半导体公司副总经理。

“邓院长、欧阳副院长、陈副院长,集中三家的科研技术人员启动ArF准分子激光、5英寸硅晶圆以及与ArF准分子激光配套的镜头、掩膜版和光刻胶的研制工作,人才最重要,将辞职下海的优秀人才尽量请回来,派人登记设备和材料,做好搬迁的准备,超过十年的设备留给原单位,根据科研和生产需要,从国内外订购最新的设备和材料,不担心研发资金。”

“好的,孙总!”

……

三人喜笑颜开。

邓国辉团队早就准备研发ArF准分子激光器,但苦于没有研发资金。

欧阳民团队也可以启动5英寸硅晶圆研发,陈伟长团队可以开始与ArF准分子激光器相配套的光学镜头研发。

BSEC将成立光刻机半导体研究院,下设九所一部,即光刻机光源研究所、光刻机光学系统研究所、硅晶圆研究所、光刻机精密设备研究所、刻蚀机研究所、光刻机热处理研究所、光刻胶研究所、掩膜版研究所、离子注入机研究所和光刻机半导体信息部。



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