挂掉电话之后,直接就去到了南山化学。
“曹总,目前我们的光刻胶种类在研发的已经比较多,在3个月内应该是可以搞定大部分。”
“但是EUV光刻胶是其中难度最高的,也是充满不确定性的。”
赖远鸿现在也是压力山大,要在3个月内把卡脖子的光刻胶都搞出来,他觉得未来三个月自己都没有好觉睡了。
“EUV光刻胶?”
“是的,EUV光刻胶是半导体材料皇冠上最璀璨的明珠,它对芯片制造过程具有重要的影响和价值。”
赖远鸿一边看着曹阳的反应,一边说明着相关的情况,“目前,EUV光刻胶最大的两家供应商是JSR和东京欧卡工业,占据了约75%的市场份额。”
“这两家公司都是传统的光刻胶生产商,拥有多年的技术积累和市场经验,能够提供专门用于EUV光刻的化学放大光刻胶。”
“这些东瀛企业不仅在技术上领先,还在价格上割韭菜,从而获得了巨大的利润。”
“按照现在的市场价格,一升EUV光刻胶的售价高达1万元人民币以上。”
“就算是如此,现在人家也不卖了。”
“只要我们能够搞定EUV光刻胶,那么今后就没有什么光刻胶能够难住我们了。”
对于赖远鸿来说,最担心的就是EUV光刻胶能不能搞出来。
这方面他是没有信心的。
“东瀛那些企业目前使用的都是传统的湿式光刻胶,但是我觉得我们是不是可以跳出他们的圈子,直接去研究干式光刻胶呢?”
曹阳专门准备了美利坚的Lam Research公司为5纳米的芯片工艺准备的干式光刻胶。
只要把它搞定了,将来基本上可以用这款光刻胶一直做到5纳米,甚至是2纳米。
可以说是为光刻胶的研发节约了很多更新换代的时间。
“干式光刻胶吗?”
赖远鸿有点头皮发麻,他感觉肩膀上的压力更大了。
“没错,就是干式光刻胶。”
“这种种类的光刻胶由于是一种密集沉积的金属,它不会与许多其他化学物质混合,有更高的吸收率。”
“这允许金属光刻胶仅作为吸收剂,从而提高曝光效率。”
“并且由于金属光刻胶可以吸收更多的入射光子,因此可以降低曝光剂量和时间,从而提高吞吐量和降低成本。”
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